reactive ion beam etching中文是什么意思

• 反应离子束刻蚀

• reactive    adj. 1.反动的，倒退的，复古的。 2.反应的；反作 ...
• ion    n. 【物理学】离子。 positive [negati ...
• beam    n. 1.梁，栋梁，桁条；(船的)横梁。 2.船幅；(动 ...
• etching    n. 1.蚀刻法；蚀刻(铜)版画；蚀镂术。 2.蚀刻画， ...
• etching reactive ion    反应离子蚀刻法
• etching, reactive ion (rie)    反应离子蚀刻法
• reactive ion etching    无功离子蚀刻
• reactive ion etching rie    反应离子刻蚀
• triode reactive ion etching system    三极型反应性离子蚀刻系统
• ion beam etching    离子束腐蚀
• ion beam etching system    离子束蚀刻系统
• reactive ion beam    活性离子束
• reactive ion beam etch    活性离子束腐蚀
• reactive ion beam oxidation    活性离子束氧化
• hexode type reactive ion etching system    六角柱型反应性离子蚀刻系统
• reactive etching    反应侵蚀; 反应性腐蚀
• ion etching    离子刻蚀; 离子蚀刻法
• reactive sputter etching    反应溅射刻蚀
• reactive sputter etching system    反应性溅镀蚀刻系统
• high frequency ion etching    高频离子腐蚀
• ion bombardment etching    离子轰击浸蚀
• ion enhanced etching    离子增强腐蚀
• ion etching chamber    离子蚀刻室
• ion etching equipment    离子刻蚀设备
• ion etching machine    离子蚀刻机

• Reactive ion beam etching system ribe system
  反应性离子束蚀刻系统
• The feasibility that kaufman ion source is applied in reactive ion beam etching is discussed . etching characteristics of materials , including pr , cr , quartz , are investigated . the etch rate and mechanisms of such materials are measured and analyzed as a function of ion energy , ion beam density and ion incidence angle in pure ar and chf3 , respectively . the etch rate has shown a square root dependence on variation versus
  深入研究了光刻胶、铬薄膜、石英等光学材料离子束刻蚀特性,分别以ar气和chf3为工作气体,研究光刻胶、铬薄膜、石英等的刻蚀速率随离子能量,束流密度和离子入射角度的变化关系,得到刻蚀速率与影响因素的拟合方程,为掩模的制作工艺路线提供了实验依据和理论指导。

• reactive ion beam etchingとは意味：reactive ion beam etching 反応性イオンビームエッチング[金属]〈98確H0211:ドライプロセス表面処理用語〉